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对于制作LED芯片来说,衬底材料的选用是首要考虑的问题。应该采用哪种合适的衬底,需要根据设备和LED器件的要求进行选择。目前市面上一般有三种材料可作为衬底:
·蓝宝石(Al2O3)
·硅 (Si)
·碳化硅(SiC)
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