近日,七星电子参加了第27届全球最大半导体旗舰展览会——SEMICON CHINA 2015。该展会由国际半导体设备与材料协会(SEMI)和中国电子商会(CECC)共同主办,是一场包揽全球领先半导体制造技术的盛会,代表了全球半导体行业的领先水平。
在这次展会上,七星电子以12英寸集成电路专用设备为主导,系统展示了应用于半导体、光伏、LED等领域的系列产品,包括扩散/氧化/退火系统、化学气相沉积系统、清洗系统及干法刻蚀系统等系列产品,以及晶硅电池整线自动化解决方案。
其中,应用于集成电路行业的300mm/200mm立式氧化炉、300mm/200mm LPCVD、300mm/200mm单片清洗机、300mm堆叠式单片清洗机,以及适用于300mm半导体集成电路装备制造的质量流量控制器等产品,引起了与会者的浓厚兴趣,并受到业界广泛关注。
值得关注的是,近期七星电子与上海华力微电子有限公司签订了2台12英寸立式氧化炉供销合同,用于其55纳米集成电路生产线。这一成果标志着七星电子12英寸集成电路立式氧化炉实现产业化。该消息在展会前得到相关媒体的热烈关注,在本次展会上也成为业内关注的焦点。展会期间,咨询和交流人数相对往年明显增多。
另外,在展会同期举办的SEMI中国光伏标准技术委员会2015年度春季会议上,七星电子提交的《用于规范负压卧式扩散炉的指南》标准提案,顺利通过大会委员的评审,正式立项。
展会期间,“02专项”专家组专家、北京电控董事长王岩、七星电子董事长王彦伶等多位领导也莅临展会参观指导。 |