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自动显影具有加工速度快,显影效果好,节省显影液等特点。设备具有操作简单,维护量小等特点。
适用范围广:适用3-6寸芯片 显定影喷头控制精确:≤0.2mm 旋转速度控制精确:***高转速6000rpm,加速度可在0-5000rpm/sec范围内调节,转速 精准度≤1-4% 涂布均匀性好:片内≤0.04μm,片间≤0.08μm 设备可靠性高:MWBF(平均故障间隔)≥10000片
浙公网安备 33010602000811号