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SSPH系列高功率脉冲磁控溅射电源技术规格
SSPH系列高功率脉冲磁控溅射（HPPMS）电源工作于二级高频变换模式，直流脉冲输出。电源由供电及脉冲调制两部分构成，单个脉冲可输出2-8兆瓦的瞬时功率。高功率密度的阴极材料将产生高的金属离化率 ，并且不含靶材颗粒。电源适用于金属工具膜层及装饰膜层制备
电源功率范围
12-25KW
输入电源
AC380V三相四线制AC50-60HZ±10％
输出方式
直流窄脉冲
输出电压
空载1000-2000V
输出电流
1200A2400A 3600A 4800A
灭弧时间
≤3uS
脉冲频率
***高500HZ
负载持续率
100%
冷却方式
风冷
使用环境
环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85％
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
说明：电源的输出功率可根据使用需要作相应调整
浙公网安备 33010602000811号
供应商参考报价：面议
太阳能光伏：
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