SSDH系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出。电源输出频率可制定为100、125、150、175、200KHZ，或200、250、350、400 KHZ，用于化合物膜的沉积及相关工艺开发
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电源功率范围 |
2-20KW
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输入电源 |
AC380V三相四线制 50-60HZ±10％
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输出方式 |
交流正弦波
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输出频率 |
100、125、150、175、200KHZ，或200、250、350、400 KHZ
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输出电压 |
空载1000V[有效值]
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输出特性 |
恒流、恒压、恒功率
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灭弧时间 |
≤1uS
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输出稳定率 |
0.25%
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冷却方式 |
风冷
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使用环境 |
环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85％
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
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通讯方式 |
模拟/RS485/RS232
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说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整
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供应商参考报价：面议
太阳能光伏：
{try{}catch(e){}var f='http://service.weibo.com/share/share.php?',u=d.location.href,p=['url=',e(u),'&title=',e(encodeURIComponent('#新能源产品推荐#【中频交流磁控溅射电源(SSDH系列) — 唐山标先电子有限公司】SSDH系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出。电源输出频率可制定为100、125、150、175、200KHZ，或200、250、350..')),'&appkey=1803333894','&pic=http://file.china-nengyuan.com/999/product/small/201604/p634789001460343106.jpg'].join('');function a(){if(!window.open([f,p].join(''),'mb',['toolbar=0,status=0,resizable=1,width=620,height=450,left=',(s.width-620)/2,',top=',(s.height-450)/2].join('')))u.href=[f,p].join('');};if(/Firefox/.test(navigator.userAgent)){setTimeout(a,0)}else{a()}})(screen,document,encodeURIComponent));){kind=link}