SS-T系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,交流正弦输出。电源输出频率设为典型的40KHZ。中频溅射电源以两个溅射靶作为负载,两个靶交替工作,因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射,使靶材表面积累电荷有的到充分泄放时,有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒,特别适用于反应膜层环境使用。
电源功率范围
|
10-120KW
|
输入电源
|
AC380V三相四线制50-60HZ±10%
|
输出方式
|
交流正弦波
|
输出频率
|
40KHz
|
输出电压
|
空载1000V[有效值]
|
输出特性
|
恒流/恒功率
|
灭弧时间
|
≤3uS
|
输出稳定率
|
1%
|
冷却方式
|
2-10KW风冷10-120KW水冷
|
使用环境
|
环境温度0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
|
冷却水
|
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温20-30℃
压力0.15±0.05Mpa
|
通讯方式
|
模拟/RS485/RS232
|
说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整
|