SS-III系列磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,单极脉冲方式输出,电源的电流与脉冲宽度独立调整。脉冲方式工
作时,溅射靶工作于高频率间歇状态,使靶材表面积累电荷有一定的泄放时间,有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒,
适用于反应膜层环境使用。
电源功率范围 |
10-120KW
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输入电源 |
AC380V三相四线制 50-60HZ±10%
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输出方式 |
脉冲
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脉冲宽度 |
10-90%
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输出电压 |
空载800V[峰值电压]
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灭弧时间 |
≤3uS
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输出电流稳定率 |
0.5%
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冷却方式 |
10-60KW 风冷 60-120KW 水冷
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使用环境 |
环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
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冷却水 |
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-30℃
压力 0.15±0.05Mpa
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通讯方式 |
模拟/RS485/RS232
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说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整
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