电阻率或方阻测量精度达到或接近国内外电阻率/方阻标准计量装置。
用途：可用于硅片或锗片电阻率的检定、校验，是电阻率/方阻高精度测量仪器。
适用范围：半导体材料质量检验中心、集成电路研发单位、企业中心检验室、省级计量院。
电阻率/方阻标准测量装置与国家计量检定规程规定的Ⅰ级四探针电阻率/方阻测试仪性能对比：
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类别
性能
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Ⅰ级电阻率/方阻测试仪
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KDX系列电阻率/方阻标准测量装置
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电气测量准确性
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0.3%
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0.03-0.08%
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B类扩展不确定度
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0.5%
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0.03-0.09%
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电阻率测量准确度
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±3-±5%
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±0.2-±0.8%
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中心点电阻率测量重复性
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未标定
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±0.02-±0.12%
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注：以上性能参数随样品电阻率及电阻率均匀性的不同会有差异。电气测量准确度是用模拟电路法测定；电阻率测量准确度是与标准样片中心点电阻率检定值相比较。
价格：根据所需测量精度及配置要求商议。
供应商参考报价：面议
太阳能光伏：
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