主要功能和特点:
1、高真空系统由双级旋片真空泵和分子泵组成,***高真空可达0.0001Pa;
2、可配合压强控制仪控制气体压力,实现负压的精准控制;
3、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计,流量显示仪等组成,实现气体的流量的精密测量和控制;
4、每条气体管路均配备高压逆止阀,保证系统的安全性和连续均匀性;
5、采用KF快速法兰密封,装卸方便快捷;
6、管路采用世界***Swagelok卡套连接,不漏气;
7、超温、过压时,自动切断加热电源及流量计进气,使用安全可靠。
主要技术参数:
YG-1206管式实验电炉
|
控温方式
|
采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能,并可编制30段升降温程序。
|
加热元件
|
0Cr27Al7Mo2
|
工作电源
|
AC220V 50Hz/60Hz
|
额定功率
|
4kw
|
炉管材质
|
高纯石英管
|
炉管尺寸
|
Φ60/Φ80/Φ100*1000mm
|
工作温度
|
≤1150℃
|
***高温度
|
1200℃
|
恒温精度
|
±1℃
|
恒温区
|
200mm
|
升温速度
|
≤10℃/min
|
密封方式
|
不锈钢快速法兰挤压密封
|
ZK-F
分子泵真空系统
|
真空范围
|
0.1-0.001Pa
|
极限真空
|
4.0*10^-4Pa
|
产品配置
|
双级旋片真空泵+分子泵
|
测量方式
|
复合真空计
|
真空规管
|
电阻规+电离规
|
冷却方式
|
风冷
|
工作电源
|
AC220V 50/60HZ
|
抽速
|
110L/S
|
ZDFC-Ⅲ
压强控制系统
|
测量范围
|
5~1*10^-5 Pa
|
稳压(真空)范围
|
1~5*10^-3Pa
|
压力(真空)稳定精度)
|
±3%
|
控制范围
|
2.5*10^3~1*10^-4 Pa
|
控制精度
|
± 1%
|
HQZ-Ⅲ
混气系统
|
控制方式
|
D07-7K质量流量计,D08流量显示仪
|
流量规格
|
0-500SCCM /0-1SLM,(可根据客户需要配置)
|
线性
|
±1%F.S
|
准确度
|
±1%F.S
|
重复精度
|
±0.2%F.S.
|
响应时间
|
≤2sec
|
耐压
|
3MPa
|
气路通道
|
3通道(根据客户需求)
|
针阀
|
316不锈钢
|
管道
|
Φ6mm不锈钢管
|
接口
|
SwagelokΦ6mm
|