1200℃高真空PECVD系统(YHGS-120613I-3ZGPE)

炉体结构

整机采用SUS304不锈钢材质，流线型外观，断热式结构；

日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好

炉子底部装有一对滑轨，移动平稳

炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却

炉盖可开启，可以实时观察加热的物料

电源

电压：AC220V 50/60Hz；功率：4KW

炉管

高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小

尺寸：Φ60*1200mm

法兰及支撑

SUS304不锈钢快速法兰，通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空

一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷

可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑

包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合

加热系统

加热元件采用优质合金丝0Cr27Al7Mo2，表面负荷高、经久耐用

加热区长度：300mm

恒温区长度：150mm

工作温度：≤1150℃

***高温度：1200℃

升温速率：10℃/min

温控系统

日本富士温控仪表，64段控温程序，可分步、分段

混气系统

三路质量流量计：数字显示、气体流量自动控制

内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀

管路采用不锈钢管，接口为Φ6卡套

每路气体进气管路配有不锈钢针阀

通过控制面板上的旋钮来调节气体流量

流量规格：0~200sccm

流量精度：±1.5%

高真空真空系统

采用双级旋片真空泵+分子泵，极限真空可达4.0*10^-4Pa

复合真空计，配置电阻规+电离规

抽速：110L/S

冷却：风冷

电源:AC220V 50/60Hz

射频电源系统

输出功率:0-300W 

功率稳定度：±0.1%

射频电源频率:13.56MHz 稳定性±0.005% 

***大反向功率:120W      

射频电源电子输出端口:UHF

冷却:风冷

电源:AC187-253V 50/60Hz

可选配件

混气系统,中、高真空系统，各种刚玉、石英坩埚，石英管，计算机控制软件，无纸记录仪，氧含量分析仪。