特点：
采用多功能高温设计，可实现化学气相沉积和石墨化处理一次性完成。
使用温度高达2600，并可长时间稳定可靠运行。
采用热电偶和红外测温仪组合的测温自动转换系统，可实现全温度段的显示和控制。
采用IGBT为主功率器件的感应加热变频控制系统，使得设备节能省电，谐波分量小，对外部设备无干扰。
进出气体的精确流量显示和控制，保证了产品的稳定性。
采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
特制的过滤系统，对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理；
化学气相沉积石墨化一体炉技术参数
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参数
型号
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HYSJL-3040
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HYSJL-4050
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HYSJL-5060
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HYSJL-6080
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HYSJL-8080
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工作区尺寸DXH（mm)
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Ф300X
400
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Ф400X
500
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Ф500X
600
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Ф600X
800
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Ф800X
800
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工作温度（℃）
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1500
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2600
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1500
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2600
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1500
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2600
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1500
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2600
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1500
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2600
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温度均匀性（℃）
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±7.5
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±7.5
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±7.5
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±7.5
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±7.5
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工作电压(V)
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三相380
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额定功率（KW)
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40
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80
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60
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150
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80
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160
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90
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200
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160
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350
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工作气氛
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真空/氩气/氮气/氢气/炳烷/石油天然气
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以上化学气相沉积炉技术参数可根据工艺参数进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。可将化学气相沉积和高温石墨化两种功能分开，单独做成化学气相沉积炉和高温石墨化炉。
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供应商参考报价：面议
太阳能光伏：
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