主要特点:
1.采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛,可拆卸式的三面密封方式,具有良好的洁净度和真空度
2.耐火材料、保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机质量轻、能耗低
3.加热元件采用U型硅钼棒或原装进口电阻丝
4.温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性。
技术参数:
设备型号
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CVD(D)-06/60/3
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CVD(Z)-06/30/1
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CVD(G)-07/50/2
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CVD(G)-09/50/1
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***高温度
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1050℃
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1350℃
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1650℃/1000℃
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1650℃
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使用温度
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RT-1000℃
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850-1300℃
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1000-1600℃
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1000-1600℃
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控温精度
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±1.5℃
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±1.5℃
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±1.5℃
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±1.5℃
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温区个数
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3
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1
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2
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1
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加热区长度
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600mm
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300mm
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500mm
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500mm
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炉管材料
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石英管
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刚玉管
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刚玉管
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刚玉管
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炉管尺寸
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60x1400mm
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60x1000mm
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70x1450mm
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90x1450mm
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发热元件
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进口电阻丝
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电阻丝/硅碳棒
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硅钼棒、电阻丝
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硅钼棒
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***大装机功率
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4.5KW
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3KW/8KW
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8KW
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10KW
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