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[新品] 太阳能电池等离子刻蚀机

太阳能电池等离子刻蚀机
供应商参考报价:面议
  供应商信息
· 招远普斯玛等离子技术有限公司 [山东省] 加为商业伙伴
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联系人: 张经理
所在城市: 山东省 烟台
详细地址: 山东省招远市经济技术开发区招金路518号
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详细信息  

◆ 外形尺寸(不包括报警灯)  

 1350(W)×800(D)×1750(H)mm

  ◆ 仓体结构(铝,约125升)

 500(W)×500(D)×500(H)mm

 ◆ 旋转平台

 Φ 400mm ,转速可调节

 ◆ 等离子发生器(美国)

 频率13.56MHZ,功率0-1250W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作

  ◆ 控制系统

 触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

 ◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)

 前级泵/ 英国爱德华爪式干泵 GV80

二级泵/ 英国爱德华罗茨泵  EH250(70L/S)  

美国MKS真空压力控制节流阀及薄膜式传感器      

 台湾气动真空角阀、充气阀、DN63不锈钢真空波纹管

 ◆ 充气系统

 美国MKS高精度电子质量流量计(四路气体配制)

 美国世伟洛克气体管路及接口组件,德国双级减压阀

 日本SMC及CKD高真空气阀组件

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