1． 采用了洁净化处理技术，阀门、接头和管道采用超纯材料。
2． 工作腔、旋转支架等采用316不锈钢，并且表面电化学抛光处理。
3． 工作腔加热和氮气温度控制。
4． 控制软件具有故障实时显示和报警功能。
5． 采用PLC和触摸屏控制，整个过程智能化。
6． 伺服电机驱动。
7． 具有工艺菜单功能。
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型号
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DSG02
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DSG02
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工作腔数量
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1
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2
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硅片规格 mm
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3-6” 8” 12”
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3-6” 8” 12”
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旋转速度 r/min
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300-2800
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300-2800
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氮气压力 Mpa
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0.3
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0.3
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去离子水压力 Mpa
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0.3
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0.3
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外型尺寸（长x宽x高）mm
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850x460x1540
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850x460x1940
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电源功率 kw
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1.8
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1.8
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电压 / 频率
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AC380V 50HZ
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AC380V 50HZ
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供应商参考报价：面议
太阳能光伏：
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