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晶圆片单双腔甩干机(DSG)

晶圆片单双腔甩干机
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· 无锡市奥曼特科技有限公司 [江苏省] 加为商业伙伴
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联系人: 杜星星
所在城市: 江苏省 无锡
详细地址: 新吴区硕放里河路12-1
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详细信息  

1. 采用了洁净化处理技术,阀门、接头和管道采用超纯材料。

2. 工作腔、旋转支架等采用316不锈钢,并且表面电化学抛光处理。
3. 工作腔加热和氮气温度控制。
4. 控制软件具有故障实时显示和报警功能。
5. 采用PLC和触摸屏控制,整个过程智能化。
6. 伺服电机驱动。
7. 具有工艺菜单功能。

 

型号

DSG02

DSG02

工作腔数量

1

2

硅片规格   mm

3-6” 8” 12”

3-6” 8” 12”

旋转速度   r/min

300-2800

300-2800

氮气压力  Mpa

0.3

0.3

去离子水压力  Mpa

0.3

0.3

外型尺寸(长x宽x高)mm

850x460x1540

850x460x1940

电源功率   kw

 1.8

 1.8

电压 / 频率

AC380V 50HZ

AC380V 50HZ

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