热式气体质量流量控制器(LF420-S)

LF420-S模拟型气体质量流量控制器/流量计

简要描述：用于对小流量气体的质量流量进行精密的测量和控制，具有精度高，稳定性好，模拟电路，可靠性高，安装简单，操作方便。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

LF420-S模拟型气体质量流量控制器/流量计产品特点：

  精度高、稳定性好、模拟电路、响应速度快

LF420-S模拟型气体质量流量控制器/流量计产品用途：

广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

LF420-S模拟型气体质量流量控制器/流量计技术参数：

产品型号 LF420-SC LF420-SM

满量程范围 SCCM   0～5，10，20，30，50，100，200，500

SLM    0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30

量程比 控制器50:1 流量计100:1

精度 ±1.0%F.S

线性 ±0.5%F.S

重复性 ±0.2%F.S

阀门类型 常闭阀

响应时间 ≤1S-3S

工作压差 0.1...0.5Mpa

***大耐压 3MPa

工作环境温度 5...45℃

泄漏率 1×10-8Pa.m3/s

通信信号 0-5V / 4-20MA

供电方式 24VDC（250mA）

密封材料 丁晴橡胶  氟橡胶（可选）

接头尺寸 3mm  6mm  8mm  10mm  1/8” 1/4”  3/8”

电器接头 DB9针