化学气相沉积炉应用领域:
CVD气相沉积炉化学气相沉积炉应用领域化学气相沉积炉（沉积炭）可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的复合材料的化学气相沉积，如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理。
|
产品型号/规格W×H×L(mm)
|
600*600*1000
|
800*800*1200
|
1000*1000*1500
|
1200*1200*2500
|
1500*1500*3000
|
2500*2000*3600
|
|
装载重量(KG)
|
350
|
800
|
1500
|
2500
|
5000
|
10000
|
|
***高温度(℃)
|
1500
|
1500
|
1500
|
1500
|
1500
|
1500
|
|
温度均匀性(℃)
|
±7.5
|
±7.5
|
±7.5
|
±10
|
±10
|
±15
|
|
加热功率(kw)
|
250
|
360
|
480
|
600
|
900
|
1200
|
|
极限真空度(Pa)
|
20
|
20
|
20
|
20
|
20
|
20
|
|
压升率(Pa/h)
|
0.67
|
0.67
|
0.67
|
0.67
|
0.67
|
0.67
|
|
以上化学气相沉积炉参数可以根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
|
化学气相沉积炉技术特征：
本化学气相沉积炉***大工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；
本化学气相沉积炉采用多温区独立控温，温度均匀性好；
本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
本化学气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。
供应商参考报价：面议
太阳能光伏：
{try{}catch(e){}var f='http://service.weibo.com/share/share.php?',u=d.location.href,p=['url=',e(u),'&title=',e(encodeURIComponent('#新能源产品推荐#【CVD气相沉积炉 — 株洲鑫韵科技发展有限公司】CVD气相沉积炉化学气相沉积炉应用领域化学气相沉积炉（沉积炭）可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的复合材料的化学气相沉积，如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、C..')),'&appkey=1803333894','&pic=http://file.china-nengyuan.com/999/product/small/201903/p675597001553582596.jpg'].join('');function a(){if(!window.open([f,p].join(''),'mb',['toolbar=0,status=0,resizable=1,width=620,height=450,left=',(s.width-620)/2,',top=',(s.height-450)/2].join('')))u.href=[f,p].join('');};if(/Firefox/.test(navigator.userAgent)){setTimeout(a,0)}else{a()}})(screen,document,encodeURIComponent));){kind=link}