大型石墨化炉

较高使用温度：3000℃,常用温度2850℃.

工作气氛：真空置换Ar2 , N2 保护（微正压）

温度测量：远红外线光学测温测温范围1000~3000℃或0~3000℃；测温精度：0.2~0.75%。

温度控制：程序控制和手动控制； 控温精度：±1℃

设备采用中频电源感应加热,效率高：独特的炉膛设计,大大提高了炉温均匀性。极限升温速度：200℃/分钟（空炉,视高温区容积和炉膛结构而定）炉温均匀性度±15℃,温控精度±1℃。

能耗低：双层氧化铝保温材料,隔热耐火效果好,热损失小,升温速度快。

易损件使用寿命长：坩埚底部垫有高强度硬质复合毡,以确保石墨坩埚在高温下平整均匀受力,是同类产品使用寿命的1.3倍。

具有高度安全性：设计炉体防爆阀,安全可靠。

设备自动化程度高：

1,全自动化控制,触摸屏直观的显示各种参数数据,完善的报警和闭锁停机保护装置。水电气全自动控制,操作轻松简便。

2,电源柜采用全密封结构,机柜自带水冷和风冷散热器,不与外界空气发生热交换,先进的控温系统,采用进口数显化智能温控表,可与PLC实现数据通讯,全自动高精度完成测温控制过程,系统可按给定升温曲线升温,并可贮存二十条共400段不同的工艺加热曲线。

3,采用密闭内循环纯水冷却系统；数字式流量监控系统,每一路水由流量计监控保护。

4,采用中科院研发,生产的高性能气体净化机,可将气体氧含量降至1PPMV,露点温度可降至-70℃。

5,炉体转换采用我公司专用高性能中频转换器,避免传统接触器的打火等接触不良现象。

6,按照升温时间和工艺要求,可单台电源柜配置多台炉体,分别对单台炉体实现升温和降温分开完成,大大提高生产效率。

主要技术参数