***小可检氦漏率(真空模式)
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<5 *10-12 mbar.l/s
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***小可检氦漏率(吸***模式)
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<1 x 10 -7 mbar.l/s
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测量范围
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12 个数量级
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抽气口允许***大压强
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15 mbar
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真空模式下氦抽速
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> 2.5 L/S
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氦信号反应时间
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<1 S
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检漏仪启动时间
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<3 min
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内置漏孔
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10E-7 mbar l/s
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质谱仪
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180 o 磁偏转双聚焦不锈钢质谱室
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离子源
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长效双离子源灯丝(镀钇铱丝)
(保修 3 年)
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可检质量数
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2 , 3 和 4 原子质量单位
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测试口连接法兰
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DN25KF
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电源
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220V, 50Hz
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尺寸(长 x 宽 x 深)
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495 x 456 x 314(毫米)
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重量
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40 公斤
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