PECVD设备

◆用工业微机对工艺时间,温度,气体流量,阀门动作,反应室压力实现全自动控制.
◆采用进口压力控制系统,闭环系统,稳定性高.
◆采用进口耐腐蚀不锈钢管件,阀门,确保气路气密性.
◆具有完善的报警功能及安全互锁装置.
◆具有超高温报警及欠温报警,MFC报警,反应室压力报警,RF报警,高压空气压力报警,N2压力报警.水流报警等。

 

类型

◆工艺过程完全不受外界环境干扰，工艺质量完全控；有毒害尾气定向收集、集中处理排放；更加安全、环保。
◆装片数量： 250片/每炉管
◆净化台洁净度：100级（10000级厂房）
◆自动化程度：自动控制温度及工艺过程。主控温控模块采用日本导电或同类品牌，可在达到±0.5℃的控制精度。
◆送取片方式：悬臂式推拉舟。我公司推拉系统采用光杠传动系统，本系统比丝杠传动系统运行更平稳，避免了推拉舟长时间运行后由于丝杠变形引起的推拉舟的震动；防止突然断电时，丝杠抱死，拖不出炉膛。

 

设备主要技术指标

◆     温度使用范围：150～600℃

◆     极限真空度： 优于1Pa

◆     压力调节范围：13～300Pa 连续可调，闭环控制

◆     射频电源：    400KHz连续可调

◆     温区长度（150～400℃）：1000mm

◆     温区稳定性（400℃）：   ±2℃

◆     温区稳定性（＜400℃）： ±3℃

◆     温度梯度：    0～30℃/1000mm可调

◆     淀积速率：    30nm/min

◆     深层折射率： 1.9～2.2

◆     ***大可控升温速度：15℃/min