直流溅射电源(WT5)

主要技术参数

产品名称

5KW直流磁控溅射镀膜电源

产品型号

WT5

产品品牌

跃迁

输入电压：

AC380±10%V

输出

功率:

5KW

电流:

DC 0~6A

电压:

工作电压-200~ -800V,空载电压> -1KV

波形

单极直流

方式

自定义恒压、恒流、恒功率

调节精度

≤1%

效率

≥90%

功率因数

cosΦ≥0.9

控制方式:

电源面板按键控制

模拟信号控制：TTL电平，可以控制工作停止，输出电压或输出电流或输出功率，外部开路保护（一般用于水流保护）

数字接口控制：485通讯。也可以定制232接口

显示方式:

中英文液晶显示

显示内容：

工作状态，输出电压，输出电流，设定值

输出保护

输出过压，输出过流，输出失调

输入保护

输入过压，输入欠压，输入过流，缺相

安全保护

接地保护，漏电保护，外控保护,防雷保护，过热

保护响应时间

1uS

输入

对外壳电阻

≥20MΩ

输出

输入对外壳耐压

2000V/1min

输入对输出耐压

3500V/1min

使用环境

温度：

0～35℃

湿度：

≤85%

外形尺寸：

480*135*380（mm ）宽高深

特点 :

体积小，重量轻，效率高，结构简单，操作简单，功能强大，稳定可靠

独有的完善保护，使电源能够工作于各种复杂的环境，中英文提示功能，使问题清晰准确

能够镀绝缘膜层，不产生电弧，负载适应范围宽

备注：

出厂默认为模拟接口