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PECVD插片机

PECVD插片机
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1.支持在线或离线,完美对接Tempress /CT/七星/丰盛/捷佳伟创等工艺炉;
2.高精度知名6轴机器人和航空特种铝材吸盘组,防止划伤发生;
3.石墨舟每槽掉片检测;
3.能完美适配常用各240片/280片/352片/400片/464片石墨舟;
4.最高产能6000pcs/h;
5.选配功能多样化:
a.上料碎片检测;b.下料色差检测;c.石墨舟漏吸片/放片检测;d.自动搬运舟。

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