项目 |
内容 |
电源 |
单相AC200~240V(±10%);
频率:50/60Hz
额定电压为1.6kVA (8A电流MAX) |
气源 |
不使用 |
接地条件 |
D种接地(接地电阻值:100Ω以下) |
使用温度·湿度 |
10~35℃ 35-80%RH(不结露) |
保存温度·湿度 |
0~40℃、35~80%RH |
外形尺寸 |
910(W)×1,470(D)×1,500(H)mm
(不包括突起部·信号灯) |
重量 |
约500KG |
基板搬送方向 |
右→左、左→右(通过Service Mode切换) |
基板搬送基准 |
前基准、后基准(通过Service Mode切换) |
搬送高度 |
900±20mm (可调整机器垫脚)
※使用SMEMA对应时用户自行准备垫脚 |
基板上下净高 |
基板上方50mm, 基板下方50mm |
基板搬送 |
传送带方式 |
传送带宽度调整 |
自动调整 |
基板搬送速度 |
150-600mm/s
使用者可自行设定搬入和搬出时的速度,
机器默认设定为200mm/s |
检查 |
炉前/炉后基板检查 |
照明方式 |
R G B 三色Color Highlight照明 |
相机 |
5M 工业相机 |
分辨率 |
15μm、 10μm |