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半自动石英管机
设备用途：本设备为浸泡式清洗机，用于扩散、外延等设备的石英管、碳化硅管的清洗
控制模式：手动控制模式、自动控制模式
项目
数据
基本规格
机台封面：聚丙烯瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm）
机台主体强度结构：整体骨架表面喷涂处理Or China SUS 矩形材
机台视窗：透明、抗静电透明PVC（厚度≥5mm）Or China 钢化玻璃（厚度≥2mm）
选配模块
l 槽内旋转
l 腐蚀液循环过滤系统
l CDS补液
l 废液回收
l 可结合客户端通讯协定资料存储、CIM系统、资料分析存储建立管理
机台特点
l 刻蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性
l QDR冲洗模块非常见排序式，可根据制程工艺设定
l 管路系统、电气控制系统等关键核心部件均采用进口标准产品
l 保修便利，非期货库存品工厂内均建立安全库存品
l 多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储
l 作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人身安全
l 客制化设计能力佳，搞设计能力满足客户制程工艺需要
制程控制
PLC控制方式
操作界面
全图形化中文彩色人机界面（10.4彩屏）
槽体数量
根据制程要求选择定制
设备制造
苏州尚纯半导体设备有限公司
浙公网安备 33010602000811号
供应商参考报价：￥50000
太阳能光伏：
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