产品概述:
该定制快速退火炉是一款由RTP (快速热处理) 管式炉、多通道质子流量计系统及真空系统组成,专为半导体基片和太阳能电池或其他样品(尺寸可达3")退火而设计。 这款设备是采用红外灯加热,***快升温速度是50℃/秒。 30 段精确温度控制,RS485接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。
技术参数:
产品名称
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定制快速退火炉
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***部分: 管式炉
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产品名称
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开启式上下温区RTP管式炉
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温度
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***高1000度
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控 制 器
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LCD触摸屏
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炉管尺寸
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石英管 外径80mm/内径72mm 单侧开口
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加热区
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300mm
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炉型
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开启式
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供电电源
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电压:380V; 频率:50 hz;三相
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加热元件
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卤素灯加热
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升温速率
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30 C/秒
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热 电 偶
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K 型热电偶测物料处温度
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温度控制器
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30段高精度数字可编程温度控制器
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第二部分 混气系统
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量程
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MFC1:氧气(O2)0-200sccm
MFC2:氩气(Ar)0-200sccm
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第三部分 真空系统
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飞越VDR-4 1L/S +粉尘过滤器配套防腐数显真空计
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