一、用途 用于BN系列产品的显影,也适用于其它种类负性光刻胶的显影。 二、主要特征 无色透明液体,易挥发,能与苯﹑***等混合,不溶于水。 三、理化指标 将待显影的硅片放入带有搅拌的显影槽内,晃动显影60-90秒,然后马上用负胶清洗剂清洗,也可用喷淋显影和漂洗。 五、包装 500mL瓶装,按MOS包装要求 六、储运条件 本品为易燃品,储存于阴凉通风处,必须远离火源及热源。
项目名称
|
指标
|
外观
|
无色透明液体
|
水份质量分数,%
|
≤0.05
|
≥5μm颗粒,个/mL
|
≤27
|
应用实验
|
合格
|
单项金属杂质,%
|
≤0.0001
|