一、用途
用于BN系列产品用SiO2、SiN4、多晶硅、磷、硼等衬底的表面处理。
二、主要特征
无色透明液体。其作用是将亲水基片表面转化为疏水表面,以增强胶膜与基片表面的粘附能力。
三、理化指标
将待处理的基片放在本产品中浸泡20分钟,然后在200℃下烘30分钟,冷却室温后即可涂胶。
五、包装
棕色瓶,500mL﹑1000mL,按MOS包装要求
六、储运条件
本产品易燃,易吸潮,应存放在干燥、阴凉处,远离火源及高温。
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表面处理剂
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表面处理剂-Ⅱ型
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外观
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无色透明液体
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无色透明液体
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六甲基二硅胺烷质量分数,%
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30.0±1.0
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≥98.5
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水份质量分数,%
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≤0.1
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≤0.2
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≥5μm颗粒,个/mL
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≤27
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≤27
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单项金属杂质,%
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≤0.0001
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≤0.0001
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