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SS II系列直流磁控溅射电源技术规格
SS II系列磁控溅射电源工作于高频变换模式，直流输出,电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电源具有良好的负载特性，性价比高，适用于金属及部分反应膜层环境使用。
电源功率范围
2-120kW
输入电源
AC380V±10％三相四线制 50-60Hz
输出方式
直流
输出电压
空载900V
输出特性
恒流/恒功率/恒压
灭弧时间
≤20μs
输出稳定率
0.5％
冷却方式
2-12kW风冷 20-120kW水冷
使用环境
环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85％
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
冷却水
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-40℃
压力 0.15±0.05MPa
通讯方式
模拟/RS485/RS232
说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整
浙公网安备 33010602000811号
供应商参考报价：面议
太阳能光伏：
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