全自动光谱椭偏仪(PH-ASE)

全自动光谱椭偏仪(PH-ASE型)把使用者从烦琐的手动调节样品高度和倾斜度工作中解放出来，样品对准是为了保证椭偏仪测量的可重复性和精确性。已获得专利的自动样品对准装置能够显著减少操作失误；能够工作于透明或反射基底；能够进行地貌图测量，包括翘曲晶片。

产品特点：

■ 全自动样品校准

■ 高测量速率 < 8秒

■ 消除了全波段范围内的盲点

■ 可测量透明和吸收基底

■ 高测量精度

■ 具有实验数据和模拟数据三维绘图功能

■ 友好的软件界面，强大数据分析功能

■ 具有实验数据和模拟数据三维绘图功能

技术指标：

■ 光源：氙灯

■ 光斑直径：1-3mm

■ 入射角范围：20°到90°自动控制

■ 波长范围：350-850nm， 250-1100nm， 250-1700nm：0.002°~ 0.02°

■ 波长精度：1nm

■ 测量时间: < 8s （取决于测量模式和粗糙度）

■ 入射角度精度：0.01

可选配：

■ CCD线阵列探测元件：200-850nm，350-1000nm

■ 样品显微镜

■ 高稳定性消色差补偿器

■ 透射测量架

■ XY移动样品台

典型客户： 美国，欧洲，亚洲及国内太阳能及半导体客户。