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[促销] 扩散炉(cl45-4)

扩散炉
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· 青岛晨立电子有限公司 [山东省] 加为商业伙伴
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联系人: 姜经理
所在城市: 山东省 青岛
详细地址: 即墨区马山东路陈家河工业园
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扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业,对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。


 技术指标:
       可处理硅片尺寸:2—12英寸
       工作温度:200℃—1300℃
       恒温区长度及精度:200mm—1100mm≤±0.5℃
       单点温度稳定性、重复性:≤±1.5℃/24h
       温度斜变:可控升温速率20℃/min,
       可控降温速率:5℃/min
       送片装置:全自动悬臂推拉舟、拉杆是推拉舟、手动推拉
       气路系统:1—5路工艺气体/管
       气体控制:全自动MFC、手动浮子流量计
       控制方式:工控机、触摸屏

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