3 主要参数
主要参数
物料仓 Ф200×800
气相混合仓 Ф250×460
收料仓 Ф380×450
原料装载重 约 5kg
温度
使用温度 ： ≤1350℃
***高温度 ： 1400℃ （持续时间 30 分钟）
温度均匀性
幅度
≤6℃ （幅度值 H-L）
加热电力 1
约 30kW（1 回路 ·1 控制）
加热电力 2
约 25kW（
2 回路 ·2 控制）
温度测定
热电偶
（
WRe5 .26)
2 只
控温精度
1℃
极限真空
≤2.5 帕
泄漏率
1 .33×10-4 Pa･m3/s （空炉升高温后 ，连续长时间抽真空后测得）
排气时间
大气压至 10 Pa･A 为止 10 分钟以内
报警装置
在异常的真空度、电压、电流、水压、气压、炉内压力、漏电 、温度
都会报警,蜂鸣灯响起,当即停止设备工作,等排除了故障,警报才会停
响，重新按启动键才能继续下段工艺。
供应商参考报价：面议
太阳能光伏：
{try{}catch(e){}var f='http://service.weibo.com/share/share.php?',u=d.location.href,p=['url=',e(u),'&title=',e(encodeURIComponent('#新能源产品推荐#【氧化亚硅原料气相沉积真空炉 — 深圳市美格真空科技有限公司】用于氧化亚硅原料实验 高温真空气相沉积炉..')),'&appkey=1803333894','&pic=http://file.china-nengyuan.com/999/product/small/202302/p903669001675758292.jpg'].join('');function a(){if(!window.open([f,p].join(''),'mb',['toolbar=0,status=0,resizable=1,width=620,height=450,left=',(s.width-620)/2,',top=',(s.height-450)/2].join('')))u.href=[f,p].join('');};if(/Firefox/.test(navigator.userAgent)){setTimeout(a,0)}else{a()}})(screen,document,encodeURIComponent));){kind=link}