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晶圆自动刻号机(SA-IR20WD)

晶圆自动刻号机
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详细信息  
晶圆打刻号码机
 
产品介绍
是专业化的晶圆激光刻号打码专用设备,适用于2-8英寸晶圆的软打标、硬打标作业。
支持OCR字符和点阵字符,
适用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的软打标、硬打标。
全自动生产 可加工2〞-  6〞、4〞-  8〞、8〞- 12〞晶圆
工业级激光器,稳定可靠,免维护
光束质量好,标识精细,可读性好
操作界面友好,使用方便 ,
无需外接水冷机
 
 
应用范围:
 
2-8英寸晶圆的软打标、硬打标
适用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的刻号、打码。
 
 
 
技术规格                             项目                          单位                           数值
 
***大加工尺寸                  晶圆尺寸                       inch                           6英寸
激光器功率                      激光器出口处                w                               20瓦
激光器波长                      红外光纤激光器             nm                          1064纳米
                                      定位精度                       mm                          0.05毫米
                                       重复精度                       mm                         0.02毫米
振镜                                ***大扫描速度                mm/s                       7000毫米/秒
                                       振镜类型                      数字/模拟                 高速数字式振镜
                                       ***大负载                      Kg                            1.5千克
协作机械手                      ***大臂长                      mm                           400毫米
                                       重复精度                      mm                          正负0.03毫米
                                       Z向行程                        mm                         210微米
                                       电源                             AC                   两相220~240V 50HZ
                                       ***大耗电量                   Kw                           1.5千瓦
                                       单独接地电阻                Ω                             小于4欧
                                       共用接地电阻                Ω                             小于1欧
                                       压缩空气供给压力         MPa                         0.5~0.8兆帕
                                       厂务真空供给                Kpa                         -0.6千帕
其他规格                          排风口口径                   mm                           50毫米
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