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主要特点
① 能够确保与PECVD石墨舟承载车准确定位;
② 采用SUS304不锈钢制造,整机结构坚固可靠;
③ 采用GK系列高效空气过滤器;
④ 净化风机噪音小于50dB;
⑤ 保证工作区域内所达到工艺的洁净度。
浙公网安备 33010602000811号