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针对检漏过程中所排放处理的氦气(含其他)进行回收纯化并循环利用。可大幅降低生产线氦气的消耗!为价值客户降本增效贡献力量! 整套系统主要采用智能预处理系统、高精度监测及全自动化控制等先进技术,核心纯化器美国和日本进口,具有低能耗、高可靠、全自动、维护成本低等特点。
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