[促销] 管式PECVD系统设备(KJ-T1200)

产品介绍：
管式PECVD系统是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜, 该系统广泛应用于沉积SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管（CNT）、石墨烯材料等。属于PECVD的一种。

产品功能和特点
1、加热元件采用掺钼合金加热丝，炉膛保温保温材料采用氧化铝陶瓷纤维材料，保温性能好，耐用，拉伸强度高，无杂球，纯度高，节能效果明显。
2、整个炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，即使炉膛温度高达1200℃，炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。
3、炉膛采用节能材料制作，整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3，节能环保。
4、炉体配有：输出电压和输出电流监测表，炉子加热状态一目了。
5、超温报警并断电，漏电保护，操作安全可靠具有多重防护功能。

规格参数