硅片表面线痕测试仪_北京羲和阳光科技发展有限公司

硅片表面线痕测试仪

产品型号：进口
对硅片表面的线痕进行轻松测量。该设备带专用控制器的高精度，高性能，操作简单，显示一目了然。

	特点
■显示一目了然，操作简单：配备高可见度7.5 英寸TFT LCD 屏幕。彩色图标显示、触控式面板，显示更清晰，操作简单。 ■轻松定位：使用专用控制器内置的操纵杆，轻松、快速地定位。小孔内侧的测量，需要对微小测头进行微调。利用手动手柄，实现轻松微调。 ■轻松设置表测量条件：利用配备的简单输入功能，可按照ISO/JIS 标准的绘图指令符号进行输入。以往非常麻烦的测量条件设置如今可轻松输入，从菜单上直接选取表面线痕的绘图指令符号即可。
	技术参数
技术参数: SJ-500 X 轴 (驱动部) 　测量范围: 50mm 　分辨率: 0.05μm 　检测方法: 线性编码器　驱动速度: 0 - 20mm/s 　测量速度: 0.02 - 5mm/s 　移动方向: 向后　直线度: 0.2μm / 50mm 　定位: ±1.5° (倾角、有DAT 功能) 30mm (向上／向下) 检测器　范围／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm, 8μm / 0.0001μm 　检测方法: 无轨／有轨测量　测力: 4mN 或 0.75mN (低测力型) 　测针针尖: 金刚石、90o / 5μmR (60o / 2μmR: 低测力型) 　导头曲率半径: 40mm 　检测方法: 差动电感式控制器　显示: 7.5" 带背光的TFT 彩显　打印机: 内置热敏打印机　放大倍率: 水平: X10 至 X500,000、自动垂直: X0.5 至 X10,000、自动驱动装置的控制: 通过操纵杆手动手柄的操作技术参数: SV-2100 X 轴 (驱动部) 　测量范围: 100mm 　分辨率: 0.05μm 　检测方法: 线性编码器　驱动速度: 0 - 40mm/s 　测量速度: 0.02 - 5mm/s 　移动方向: 向后　直线度: 0.15μm / 100mm Z2 轴 ( 立柱) 　类型: 手动操作或电驱动　垂直移动: 350mm 或 550mm* 　分辨率: 1μm 　检测方法: 旋转编码器　驱动速度: 0 - 20mm/s 仅适于电驱动型检测器　范围／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm, 8μm / 0.0001μm 　检测方法: 无轨／有轨测量　测力: 4mN 或 0.75mN (低测力型) 　测针针尖: 金刚石、90o / 5μmR (60o / 2μmR: 低测力型) 　导头曲率半径: 40mm 　检测方法: 差动电感式控制器　显示: 7.5" 带背光的TFT 彩显　打印机: 内置热敏打印机　放大倍率: 水平: X10 至 X500,000、自动垂直: X0.5 至 X10,000、自动　驱动装置的控制: 通过操纵杆手动手柄的操作