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硅片电阻测试仪

硅片电阻测试仪
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详细信息  
硅片电阻测试仪
硅片电阻测试仪是用来测量硅片、硅单晶、锗单晶电阻率的测量仪器。它由电气测量部份(简称:主机)、测试架、四探针头及专业测量软件组成。
 功能特点  
本套仪器的特点是主机配置双数字表,在测量电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全程的电流变化,免除了测量电流/测量电阻率的转换,更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源,使测量电流高度稳定。主机配有恒流源开关,在测量某些薄层材料时,可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生,更好地保护箔膜。主机配置了“小游移四探针头”,探针游移率在0.1~0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本套仪器使用专用软件进行数据采集,可实现自动换向测量、存储,求平均值,***大值、***小值、***大百分变化率、平均百分变化率等内容。
 技术参数  

测量范围 
■ 可测电阻率:0.0001~1.9*104Ω·cm

探针
■ 使用几何尺寸十分精确的红宝石轴套,确保探针间距的恒定、准确。
■ 控制宝石内孔与探针之间的缝隙不大于6μm,保证探针的小游移率。
■ 采用特制的S型悬臂式弹簧,使每根探针都具有独立、准确的压力。
■ 量具精度的硬质合金探针,在宝石导孔内稳定运动,持久耐磨。

恒流源 
■ 输出电流:DC 0.001~100mA 五档连续可调 
■ 量程:
    0.001~0.01mA
    0.01~0.10mA
    0.10~1.0mA
    1.0~10mA
    10~100mA
■ 恒流精度:各档均低于±0.05%

直流数字电压表
■ 测量范围:0~199.99mV
■ 灵敏度:10μV
■ 基本误差:±(0.004%读数+0.01%满度) 
■ 输入阻抗:≥1000ΩM

供电电源 
■ AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W

使用环境 
■ 温度:23±2℃ 相对湿度:≤65%
■ 无较强的电场干扰,无强光直接照射

重量、体积
■ 主机重量:7.5kg
■ 体积:365×380×160(单位:mm 长度×宽度×高度)

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