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多角度激光椭偏仪

多角度激光椭偏仪
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详细信息  
多角度激光椭偏仪
产品型号:进口。

简要描述:高性能椭偏仪,针对粗糙表面硅太阳能电池的测量装置,拥有业内***高测量精确度。
 

功能特点
多角度激光椭偏仪 SE400advanced使用632.8nm波长HeNe激光器,对测量薄膜厚度,折射率和吸收系数有非常出色的精度。 SE400advanced能够分析单层膜,多层膜和大块材料(基底) 
■ 超高精度和稳定性,来源于高稳定激光光源、温度稳定补偿器设置、起偏器跟踪和超低噪声探测器 
■ 高精度样品校准,使用光学自动对准镜和显微镜 
■ 快速简易测量,可选择不同的应用模型和入射角度 
■多角度测量,可完全支持复杂应用和精确厚度 
■全面的预设应用,包含微电子、光电、磁存储、生命科学等领域
 

技术指标
■ 激光波长632.8 nm 
■ 150 mm (z-tilt) 载物台 
■ 入射角度可调,步进5o 
■ 自动对准镜/显微镜,用于样品校准 
■ Small footprint 
■ 以太网接口连接到PC 
 

选项
■ 微细光斑选项,光斑直径30微米 
■ 手动x-y方向移动载物台,行程150 mm 
■ 摄象头选项,用于取代目镜进行样品对准 
■ 液体膜测量单元 
■ 反射式膜厚仪FTPadvanced,光斑直径80微米 
■ 双波长激光 (405 nm 或1550 nm) 
■ SIMULATION软件
 

软件特征
■ 预先定义应用 
■ 多角度测量 
■ 广泛的材料数据库 
■ 拟合状况的图形反馈 
■ 支持多种语言 
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