技术优势
模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；
探针台整体位移精度达3um，样品台四维精密调节；
兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试；
兼容高倍率电子显微镜/体视显微镜，可360°旋转及微调升降；
漏电精度可达10pA/100fA/10fA（屏蔽箱内）；
探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计；
满足1um以上电极/PAD使用；
加宽探针架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；
搭配显微镜二维精密调节功能，且可选配多种位移行程及驱动方式。
通用参数
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样品台位移行程
XY110mm，Z轴10mm，360°粗调，±5°精调
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样品台位移精度
3um
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样品台背电极测试功能
可引出背电极
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真空吸附
进口无油真空泵，7L/min
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样品固定方式
环形真空吸附
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探针座行程
XYZ均13mm
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探针座位移精度
3um（可选配升级1um，电动）
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漏电精度
100fA(三同轴线缆)
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探针座安装方式
可调磁力吸附（可升级真空吸附）
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探针座接口形式
三同轴接口
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显微成像方式
双目体视显微镜（可升级金相显微镜）
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显微镜放大倍数
~270倍（可选配升级更高倍数）
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图像传感器
2000W高清，支持PC端通讯传输
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中心距离
140mm，升降范围270mm，总高度350mm
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显微镜位移行程
XY行程25mm/50mm，分辨率3um
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显示器
22寸高清显示器，HDMI高清接口
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供应商参考报价：￥2000
太阳能光伏：
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