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[新品] 实验室台式匀胶机(WS-650-8N)

实验室台式匀胶机
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详细信息  

匀胶机(英文名:Spin   Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜 
详细介绍: 匀胶机(英文名:Spin   Coater)   
行业俗称:匀胶台,甩胶机,涂胶机,镀膜机,涂层机    

品牌   LAURELL
型号   WS-650-23N  WS-650-8N   WS-650-15N

产品概述:  
WS650型匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆.  
匀胶机稳定的转速和快速的启动,可以保证半导体中胶厚度的一致性和均匀性,这正是WS650型均匀胶机的特点.  
该机在这方面采取了许多措施:  
(一)该设备采用美国先进技术.  
(二)转速在12000转/分范围内非常稳定.  
(三)本匀胶机采用PLC控制,速度无极调节.在启动之后,一般工艺先以低速运转,使胶摊开,然后自动变到高速运转.步骤转速及相应的时间分别可调.  
(四)本匀胶机采用直流驱动马达,超过10年的使用历史
(五)"吸片"采用电磁阀控制气路,这样适合流水线的工艺,一个气泵可同时带几个匀胶机工作,提高了效率.  
(六)智能型调节匀胶时间,倒计时数字显示
(七)在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音很低,保证涂覆表面均匀,保证通过调节转速调节涂覆厚度. 
(八)匀胶机配真空泵使用. 

 性能指标:  

高性能马达驱动
旋转控制
Mz型高精度旋涂用马达
转速范围:50~12000RPM  (注 50RPM是***小稳定转速)
***大加速度:13000RPM/S;
转速误差:<±0.5RPM @8000RPM   NIST标准认证;
匀胶均匀性:<1% @6 inch Wafer

电源电压:220V/   50Hz   
电机功率:200W   
适用:Φ10-Φ150mm硅片及其它材料等匀胶.  
体积小,重量轻,操作简便 
 

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