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PECVD石墨舟

PECVD石墨舟
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华榕团队拥有丰富的技术开发和生产业履历。可为客户开发设计生产整舟、配件、工装夹具等,同时可提供安装、维修、外包维护、培训等服务。
产品描述

 

  • 石墨舟核心技术

· 二次纯化工艺,直接提高材料的纯度,长周期工况条件下,石墨舟各点电阻率仍保持优异的均匀一致性,保证电流均匀,降低镀膜色差,同时有效减缓石墨舟的氧化,提高寿命。

· 舟叶表面C-coating涂层工艺,舟页表面平面度、光洁度更好,使舟页和硅片之间接触面积更大,饱和以后使用次数增加,舟使用寿命延长。

· Balance加工工艺,***大限度消除石墨舟片内应力,长周期使用后不易变形,有效减少热延展80%以上。

 

  • 石墨舟核心指标

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