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电磁阀采用模块化设计,泄漏率降低,更换方便; 带滑动托盘的大过渡舱,过渡舱门设计独特,轻巧、开启方便; GP-20惰性气体的净化系统; SIEMENS微控制器; SIEMENS操作触摸屏幕,易于进入各功能。数据备忘录:自动记录系统数据。
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