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炉管清洗机(定制)

炉管清洗机
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详细信息  

炉管清洗机是用于清洗石英炉管和相关部件的专用设备,广泛应用于半导体制造、光学镀膜和材料科学研究等领域。

技术特点

主体材料:采用德国进口的PP板和优质不锈钢骨架,外包PP板,确保设备的耐腐蚀性和结构稳定性。

管路材质:DIW管路及构件采用日本进口的clean-PVC管材,酸碱管路采用PFA/PVDF材质,满足18M去离子水水质要求。

安全措施:设有EMO(急停装置),强电弱点隔离,所有电磁阀均高于工作槽体工作液面,电控箱正压装置(CDA Purge),设备三层防漏楼盘倾斜漏液报警,设备整体置于防漏托盘内,排放管路加。

操作方式

PLC控制:可以实现手动、半自动和全自动操作模式,根据不同的工艺需求选择合适的操作方式。

模块化设计:模块化的软件和硬件设计,减少故障几率,便于安装和维护。

安全防护:配备漏电断路保护、漏液检测、EMO开关等安全保护装置,确保操作人员和设备的安全。

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