磷酸清洗机

主要特点：

高选择比蚀刻：通过对磷酸中硅浓度的检测和控制，可以实现高选择比的蚀刻，满足特定的工艺要求

温度控制：设备能够对每个区域的温度进行精确控制，以确保晶圆表面蚀刻的均一性。

高洁净度清洗：采用先进的物理清洗工具，能够达到高洁净度的清洗效果，去除表面的微小颗粒和杂质。

环保节能：磷酸可以采用可回收方式，降低药液的使用成本，同时也符合环保要求。

重要参数

设备型号与尺寸：

不同厂家、不同型号的磷酸清洗机会有不同的尺寸。例如，CSE-SZ2011-16型高温磷酸清洗机整机尺寸约2800mm（L）×1200mm(w)×1900mm（H）。

清洗方式：

可分为单片式清洗、枚叶式清洗、喷洒式清洗等。单片式清洗具有高洁净度、高均一性、没有交叉污染等优点；枚叶式清洗则在晶片表面的微粒数控制等方面有优势。

温度控制：

能够对每个区域的温度进行精确控制，以确保晶圆表面蚀刻的均一性。对于不同的工艺需求，可能需要不同的温度设置。

药液供应系统：

自动供酸系统（CDS）可集中配送刻蚀液，经管道至磷酸清洗机。该系统具有自动化程度高、配比精确、操作简便等特点。

安全保护装置：

设有EMO急停装置、强电弱点隔离、设备三层防漏托盘倾斜漏液报警等安全保护措施，确保设备运行的安全性。

工作照明与台面板材质：

上方防酸型照明，方便操作人员观察清洗过程；台面板为优质10mmPP板（带有圆形漏液孔，清除台面残留液体）。

废液排放与环保性能：

具备废液排放管路，磷酸采用可回收方式，可降低药液的使用成本，同时也符合环保要求。

其他附件：

水、气***左右各两套，便于操作人员进行额外的清洗或处理工作。