1.基片尺寸:200-300mm(8英寸至12英寸)
2.转速范围:10-6000RPM
3.加速度范围:10-1000RPM/S,可调
4.电机转速稳定性:±1RPM
5.旋涂均匀度:±1%
6.人机界面:8英寸触摸屏
7.通讯接口:USB(标配)/RS485(选配)/蓝牙(标配)
8.调转:支持正反转
9.手写笔:手写BAMBOO电阻笔(标配)
10.真空泵:SC-550V
11.设定数据:无限组数据,每组15个速度(标配)或无限速度(选配)
12.每周期秒数:0-10000s
13.存储数据:无限数据
14.数据保护:默认带掉电保护
15. 工作电压(旋涂机):AC100-250V,单相,50/60Hz
16. 工作电压(泵):AC220V(标准)AC110V(可选)
17. 抽气速度:≥60L/MIN
18. ***大真空度:-85KPA
19. 噪音等级:≤55db
20. 旋涂机功率:2KW
21. 泵功率:350W
22. 尺寸(旋涂机):550mm(宽)X550mm(深)X350mm(高)
23. 重量(旋涂机):50KG
24. 重量(泵):9KG
25. 相对湿度:< 85%
26. 环境温度:0-40℃
27. 保修:1 年