CVD气相沉积回转窑连续炉间歇炉流化床(sjx100)

设备用途:设备可用于粉体、颗粒物料、硅负极材料气相沉积碳包覆等工艺的高温裂变。
设备主体尺寸:4500mmx1600mmx2200mm(以***终设计方案为准)。
回转炉体尺寸:中720mmx3010mm(实际装填物料工作区尺寸)。
设备设计产能:炉内***大填充率约为25%;***大批次处理1-100kg。
炉体倾角:-4~15度(自动可调)/筒体转速:0.25~4转/分(变频可调)。
炉内气氛环境:满足高纯氮气(或者其他惰性气体)、乙炔、硅烷、甲烷等混合气体。
设备使用温度:设计***高1100℃，炉内恒温时间跟据客户工艺调，可长期运行于1000℃。
加热方式:内嵌电阻丝模块圆周加热。
加热温区及控温个数:6个。
温控系统:岛电触摸屏+岛电模块(支持所有温度数据采集并导出PC)。
控温稳定性:±2℃℃/温控表精度:0.3°C/设备表面温升:<60℃℃。
电源:三相，380VAC,50HZ。。
装机功率:160KW+10%。
报警保护:超温、断偶、超压，低压，气体泄漏等声光报警保护(指示灯指示)。
气体流量计:高精度不锈钢减压阀(调节进气压力)+质量流量控制器(控制显示实时流速和累计流速)+辅助氮气管路+玻璃转子流量计，为您预防断电无法供气的情况发生。
本章仅做部分介绍，其余技术规格不再一一列出，详细内容还请联系本公司技术和销售人员,本公司亦可提供设备定制化的设计，可根据客户要求而设计，设备产能，外饰喷塑等都可根据客户要求确定。一切内容以实际沟通为准。