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该设备为电阻、电子束或电阻电子束复合镀膜系统，同时兼容IBE等离子刻蚀和在线辅助镀膜，过流部件均采用SUS304制造，真空系统后置，标准配置分子泵系统，标配工业级人机界面和西门子PLC系统，手动和自动模式自由切换，能够满足工业客户小批量生产和科研院所客户科研实验的需求。该系列设备不提供全手动操作控制系统。
形式：箱式一体机，立式前开门，蒸发室和抽气室为整体焊接式，一体机系统。
真空系统：极限真空5X10-4Pa，主泵为复合分子泵。
说明：根据用户要求，公司愿与客户联合研发，共享知识产权，公司致力于工艺与设备完美匹配。
浙公网安备 33010602000811号
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太阳能光伏：
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