[新品] XYZ静龙门超高精度精密检测气浮位移台(YC)

高端精密检测场景中，大行程运动下依旧维持超高定位精度，一直是行业难点。传统龙门平台易受框架形变、运动扰动、摩擦间隙影响，在大面积工件扫描检测时，会引入平台自身系统误差，造成测量数据偏差。XYZ 静龙门超高精度精密检测气浮位移台，采用静龙门一体式结构搭配气浮无摩擦支承，兼顾大运动行程与亚微米级运动性能，为大面积精密量测提供可靠运动解决方案。

静龙门刚性框架结构整体稳定性强，有效抑制高速运动带来的框架抖动；三轴全部采用气浮支承，运动部件无机械接触，消除磨损、回差与爬行效应。XYZ 三轴协同运动，运动直线度、俯仰偏摆误差控制优异，可搭载视觉检测、激光测头、干涉仪等多种检测单元，适配大面积工件全域扫描测量。整体结构刚性高，抗形变能力优秀，既可以用于实验室研发计量，也能够集成到自动化量产检测工位。

产品应用覆盖多个高端制造赛道：半导体领域用于大尺寸晶圆、陶瓷载板全域外观与尺寸缺陷检测；光学行业用于大口径反射镜、光学面板面形扫描量测；精密加工行业完成大面积精密零部件、光栅基板的三维形貌检测；也适用于科研机构、计量实验室的高精度标定实验。

某光学企业需要对大口径光学基板做全域面形检测，旧设备在大行程扫描过程中框架振动明显，检测结果重复性差。导入 XYZ 静龙门超高精度精密检测气浮位移台后，静龙门高刚性框架配合气浮无摩擦运动，大幅降低运动扰动，全域扫描数据一致性大幅提升，减少重复复测工作量，产品检测良率管控水平得到升级。

该款静龙门气浮平台支持行程、负载、接口定制，可兼容客户现有检测系统，降低产线改造成本。面对大行程、超高精度的检测难题，高性能静龙门气浮平台可规避设备本体带来的测量干扰。有平台选型、方案评估需求，欢迎前来咨询对接。