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单晶矽生长炉(DRF-50)

单晶矽生长炉
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· 常州市天龙光电设备有限公司 [江苏省] 加为商业伙伴
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联系人: 潘燕萍
所在城市: 江苏省 常州市
详细地址: 新北区小河通江工业园港西大道16号
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详细信息  

DRF-50单晶生长炉的硅是无缺陷的硅锭生长到3英寸的直径,使用直拉法和先进的控制系统的能力。这些无缺陷的硅锭,可用于集成电路,以及太阳能应用。

 

项目

规范

1

***大钢锭直径

380毫米)

2

充电大小

10kg/10坩埚

3

炉膛尺寸

500 *780毫米

4

喉径

148毫米

5

种子升降率

0.2-8mm/min

6

种子旋转(可逆)

0-30RPM

7

坩埚旋转(可逆)

0-20rpm

8

总坩埚旅游

220毫米

9

电器(变压器容量)

80KVA

10

电极距离/数量

240MM / 2(正常)

11

***大真空环境温度下。

<3Pa

12

重量

4000公斤

13

尺寸

2050 * 1000 *4300毫米(L * W * H

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