DRF-95B单晶硅生长炉的升级
DRF-95炉,配备了全自动化控制系统。武装的与TLPE高性能(高拉速及低功耗)热区,客户可以受益于一个显着降低运营成本,以及改善的结晶质量。DRF-95B是目前***先进系统在TLPE的产品线。
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项目
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规范
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1
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锭直径
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∮8“-10”
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2
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充电大小
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120kg/22“坩埚; 150kg/24”坩埚
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3
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炉膛尺寸
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∮950×1250mm结构
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4
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喉径
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∮300毫米
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5
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拉商会大小
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∮300 *2500毫米
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6
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种子升降率
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0.2-8mm/min/3500mm
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7
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种子旋转(可逆)
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0-30RPM
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8
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种子动速度
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400mm/min
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9
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坩埚旋转(可逆)
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0-20rpm的
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10
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总坩埚旅游
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450mm/120mm/min
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11
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电器(变压器容量)
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190KVA
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12
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电极距离/数量
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∮500毫米/ 4(正常)
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13
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***大真空环境温度下。
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<2PA
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14
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坩埚升降率
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0-120mm/min
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15
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重量
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4500公斤
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16
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尺寸
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2400 * 1410 *7300毫米(L * W * H)
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