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1. 设备概况
JRDL-800系列单晶炉是软轴提拉型单晶炉,采用PLC控制,是在惰性气体环境中,以石墨电阻加热,将硅半导体材料熔化,用直拉法生长无位错单晶的设备,它可生产太阳能光伏电池和大规模集成电路所需要的高质量单晶。
2. 技术参数
浙公网安备 33010602000811号